このような高度なニーズにお応えします。
　・線幅8μm未満の精密なパターン検査
　・数μmサイズの微小欠陥検出
　・数万個の孔径や形状測定を数秒で検査
　・分解能0.1μmオーダーでの精密計測

圧倒的なパターン検査性能。
　・測長アルゴリズムによる高精度検出
　・不安定なパターンに対する安定検査
　・一段上のファインパターンに対応

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経験豊富な搬送システム技術。
　・短冊ワーク、大判ワーク、ロール上の
　　長尺ワーク、いずれも対応可能です。
　・手動の簡易装置、全自動搬送システム
　　高スループットの高速処理など。

ＴＤＩカメラと精密撮像の融合。
　・測長アルゴリズムの高精度演算
　・ＴＤＩカメラ採用で高速＆高精度撮像
　・高度な画像技術で高速演算処理

コア技術を駆使した各種検査装置。
　・ＢＧＡ・CSP、TABテープ検査装置から
　　基板AOIまで各種検査装置のご紹介。

ハード技術をベースとした高速システム
　・当社がもつハードウエア処理技術を活
　　用した、高速インライン検査システムを
　　ご提案。

メニュー

用途に対応した最適なカメラと照明。
　・8000画素～17000画素、
　　最大640ＭＢの高速カメラまで。
　・精密フォーカス制御搭載可能。

豊富なアルゴリズムと多彩な照明。
　・複数アルゴリズムによる安定検出
　・ノウハウに裏打ちされた照明技術
　・カスタマイズによる広範囲な対応力