インスペック株式会社は暮らしを支えるテクノロジーを見つめています。

メカ・搬送技術

Core Technology

外観検査装置の例

個片、短冊、シート、テープ、大型基板など、数多くの搬送実績があります。

TABテープ、基板AOI、BGA・CSP、半導体ウエハ、リードフレーム

シート品、大型基板:フラットベッド搬送

プリント基板 610mm×610mm (特注サイズにも対応します)
セラミック基板、金属基板 同上  (特注サイズにも対応します)
半導体ウエハ類 グラナイト製超精密ステージで対応可能です

※ オプションで、ローダー・アンローダーに対応します

プリント基板、枚葉ワーク(フラットベッドタイプ)

AOI本体、ベリファイ装置
  • センサによる高精度フォーカストラッキング
  • 高精度回転補正機構付き(オプション)
  • ローダ、アンローダをサポート可能

フォーカス制御(フラットベッドタイプ)

変動量と高さ補正制御量のグラフ
  • スキャン中にフォーカスのトラッキングを実施
    >全自動AF
  • 2μm分解能での撮像にも対応可能
  • AOI等に装備

短冊状ワーク:自動供給・排出、マガジンチェンジャー

短冊、フレーム形状:全自動供給排出・マガジンオートチェンジャー対応

BGA・CSP基板 80mm×250mm標準 (t=150μmの薄物の実績多数)
リードフレーム 同上  (マガジンオートチェンジャー可能)

※ 表裏それぞれ1又は2カメラ搭載

BGA・CSP 短冊基板AVI

汎用タイプ

自動供給、排出に反応(マガジンによる供給)
以下の2タイプをリリース

2×2タイプ

・裏表を同じ2つの照明条件で撮像(裏、表の照明条件は共通)
・カメラ台数:2台
・カメラ画素数 12K(標準)、17K

汎用タイプ

・裏表ごとに独立したカメラで撮像
・カメラ台数:最大4台
・カメラ画素数 12K(標準)、17K

LF(リードフレーム)

・自動供給、排出に反応(マガジンによる供給)
・表2台、裏1台のカメラ構成(最大)
・マガジンのオートチェンジに対応
・速いマシンタクト(6秒以下)
・極薄ワークにも対応

* 実際の検査速度は処理に依存

ロールtoロール:連続長尺ワーク

ロール状のフィルム類の搬送

TABテープ W=35mm~160mm 連続搬送(非接触のパーフォセンサー搭載)
フレキシブル基板 W=250mm~600mm  ステップ&リピート搬送

※ t=25μmの薄物まで対応可能

TABテープ:連続高速検査に最適な搬送システム

  • 搬送ギア無しで薄物に対応
  • 高精度ロータによる連続搬送
  • 最大17Kラインカメラ×8台構成
  • 100台以上の稼働実績

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