外観検査装置の例
個片、短冊、シート、テープ、大型基板など、数多くの搬送実績があります。

シート品、大型基板:フラットベッド搬送
プリント基板 | 610mm×610mm (特注サイズにも対応します) |
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セラミック基板、金属基板 | 同上 (特注サイズにも対応します) |
半導体ウエハ類 | グラナイト製超精密ステージで対応可能です |
※ オプションで、ローダー・アンローダーに対応します
プリント基板、枚葉ワーク(フラットベッドタイプ)

- センサによる高精度フォーカストラッキング
- 高精度回転補正機構付き(オプション)
- ローダ、アンローダをサポート可能
フォーカス制御(フラットベッドタイプ)

- スキャン中にフォーカスのトラッキングを実施
>全自動AF - 2μm分解能での撮像にも対応可能
- AOI等に装備
短冊状ワーク:自動供給・排出、マガジンチェンジャー
短冊、フレーム形状:全自動供給排出・マガジンオートチェンジャー対応
BGA・CSP基板 | 80mm×250mm標準 (t=150μmの薄物の実績多数) |
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リードフレーム | 同上 (マガジンオートチェンジャー可能) |
※ 表裏それぞれ1又は2カメラ搭載
BGA・CSP 短冊基板AVI

自動供給、排出に反応(マガジンによる供給)
以下の2タイプをリリース
- 2×2タイプ
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・裏表を同じ2つの照明条件で撮像(裏、表の照明条件は共通)
・カメラ台数:2台
・カメラ画素数 12K(標準)、17K - 汎用タイプ
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・裏表ごとに独立したカメラで撮像
・カメラ台数:最大4台
・カメラ画素数 12K(標準)、17K
LF(リードフレーム)

・自動供給、排出に反応(マガジンによる供給)
・表2台、裏1台のカメラ構成(最大)
・マガジンのオートチェンジに対応
・速いマシンタクト(6秒以下)
・極薄ワークにも対応
* 実際の検査速度は処理に依存
ロールtoロール:連続長尺ワーク
ロール状のフィルム類の搬送
TABテープ | W=35mm~160mm 連続搬送(非接触のパーフォセンサー搭載) |
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フレキシブル基板 | W=250mm~600mm ステップ&リピート搬送 |
※ t=25μmの薄物まで対応可能
TABテープ:連続高速検査に最適な搬送システム

- 搬送ギア無しで薄物に対応
- 高精度ロータによる連続搬送
- 最大17Kラインカメラ×8台構成
- 100台以上の稼働実績