外観検査装置の例
個片、短冊、シート、テープ、大型基板など、数多くの搬送実績があります。
シート品、大型基板：フラットベッド搬送
| プリント基板 | ６１０ｍｍ×６１０ｍｍ （特注サイズにも対応します） |
|---|---|
| セラミック基板、金属基板 | 同上 （特注サイズにも対応します） |
| 半導体ウエハ類 | グラナイト製超精密ステージで対応可能です |
※ オプションで、ローダー・アンローダーに対応します
プリント基板、枚葉ワーク（フラットベッドタイプ）
- センサによる高精度フォーカストラッキング
- 高精度回転補正機構付き（オプション）
- ローダ、アンローダをサポート可能
フォーカス制御（フラットベッドタイプ）
- スキャン中にフォーカスのトラッキングを実施
＞全自動AF - 2μm分解能での撮像にも対応可能
- AOI等に装備
短冊状ワーク：自動供給・排出、マガジンチェンジャー
短冊、フレーム形状：全自動供給排出･マガジンオートチェンジャー対応
| ＢＧＡ・ＣＳＰ基板 | ８０ｍｍ×２５０ｍｍ標準 （ｔ＝１５０μmの薄物の実績多数） |
|---|---|
| リードフレーム | 同上 （マガジンオートチェンジャー可能） |
※ 表裏それぞれ１又は２カメラ搭載
BGA・CSP 短冊基板AVI
自動供給、排出に反応（マガジンによる供給）
以下の2タイプをリリース
- 2×2タイプ
-
・裏表を同じ2つの照明条件で撮像（裏、表の照明条件は共通）
・カメラ台数：2台
・カメラ画素数 12K（標準）、17K - 汎用タイプ
-
・裏表ごとに独立したカメラで撮像
・カメラ台数：最大4台
・カメラ画素数 12K（標準）、17K
LF（リードフレーム）
・自動供給、排出に反応（マガジンによる供給）
・表2台、裏1台のカメラ構成（最大）
・マガジンのオートチェンジに対応
・速いマシンタクト（6秒以下）
・極薄ワークにも対応
＊ 実際の検査速度は処理に依存
ロールtoロール：連続長尺ワーク
ロール状のフィルム類の搬送
| ＴＡＢテープ | Ｗ＝３５ｍｍ～１６０ｍｍ 連続搬送（非接触のパーフォセンサー搭載） |
|---|---|
| フレキシブル基板 | Ｗ＝２５０ｍｍ～６００ｍｍ ステップ＆リピート搬送 |
※ ｔ＝２５μmの薄物まで対応可能
TABテープ：連続高速検査に最適な搬送システム
- 搬送ギア無しで薄物に対応
- 高精度ロータによる連続搬送
- 最大17Kラインカメラ×8台構成
- 100台以上の稼働実績
