ガラスマスク
基板AOI
SX6000G
透過照明、反射照明でも検査が可能
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 装置サイズ | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 対応基板サイズ | 600mm ｘ 600mm |
| 対応L/S | 5um/5um ～ |
| 対象検査 | |
|---|---|
| 配線検査 |  |
| 穴検査 | |
| 無地検査 | |
| 対象製品 |
|---|
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ソフトベリファイシステム
SV100
遠隔地(一般オフィス／海外など）でもベリファイ作業が可能
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 装置サイズ | － |
| 対応基板サイズ | － |
| 対象製品 |
|---|
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データマッピングシステム
DM100
集計画面は一目で結果が確認出来る
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 装置サイズ | － |
| 対応基板サイズ | － |
| 対象製品 |
|---|
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欠陥自動分類システム
Pentagon
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 装置サイズ | － |
| 製品ロール幅 | － |
| 対象製品 |
|---|
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