技术介绍

线路检测

测长检测系统

测长检测系统能对所有线路进行”量测”辨识线路的生成状态、可挑选只想检出的缺陷。

测长检测系统的优势

图形比对检测必须避开制程不稳定的部分才行。测长检测系统”量测”所有线路对生成状态进行辨识、可桃选只想检出的缺陷。

小於1像素演算

运用独自的小於1像素演算达到取像解析度小於1像素的小数点量测。
无需过度的解析度。

输出测量值

能显示线路的测量值并能进行输出、於检测同时亦能活用在生产数据上。

孔检测

全孔量测检测

运用测长检测系统、能对所有孔径进行量测。从放射线状的孔径量测情报来辨识孔形状并进行检测。

孔径大
孔径小
孔偏
扁平度异常(变形)
扁平度异常(残渣)
无孔

柔软对应孔形状

通孔、雷射孔等虽因孔的成像不同亦皆能各自对应检测。雷射孔可针对顶部与底部、双方进行量测。

通孔 激光孔

测量值输出

能显示孔的测量值并能进行输出、於检测同时亦能活用在生产数据上。

图形比对检测

灰阶比对

拥有灰阶比对比较辉度差异的图形比对逻辑。线路、孔部位用测长检测系统、其它部位用图像比对的方式、运用2种方式同时进行检测。

Pentagon System

独自的缺陷筛选逻辑可对缺陷做自动分类

以往的检测

・找修比检测更花时间・找修的必要性不足・找修机占空间 1检测机 2从检测机输出的缺陷图像 3跟软体找修分头进行筛选 4人员在找修机进行确认 检查结束

INSPEC的话

・独自的缺陷分类系统对检出的缺陷做自动分类。大幅提升作业效率。・缺陷分类判定可参数化自行调整・不确定的缺陷资料可由人员在找修系统SV100上判断 1检测机 2独自的缺陷筛选逻辑可对缺陷做自动分类 3大幅减少软体找修、找修的工时 检查结束