软件选购
软体找修系统
SV100
能对检测结果跟NG小图进行找修作业
远端(办公室/海外等)亦可进行找修作业
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 对应产品尺寸 | － |
| 产品别 |
|---|
|
数据分析系统
DM100
统计检测结果的确认软体
看统计画面便可一眼确认结果
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 对应产品尺寸 | － |
| 产品别 |
|---|
|
自动分类缺陷系统
Pentagon
INSPEC独自开发的缺陷筛选逻辑"iDSA"可大幅缩短找修时间
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 卷产品宽度 | － |
| 产品别 |
|---|
|