基板AOI
基板AOI
SX3600/SX5600
对应线宽/线距=5/5μm高分辨率机种
超高精度对应从线路到激光孔的检测
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 对应产品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 对应线宽/线距 | 5um/5um ～ |
| 检测对象 | |
|---|---|
| 线路检测 |  |
| 孔检测 | |
| 底材检测 | |
| 产品别 |
|---|
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基板AOI
SX1000
体积小不占空间
能对应单张、框架、拖盘类型的检测
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | W890 x D1,610 x H1,600mm |
| 对应产品尺寸 | 300mm ｘ 400mm |
| 对应线宽/线距 | 15um/15um ～ |
| 检测对象 | |
|---|---|
| 线路检测 | |
| 孔检测 | |
| 底材检测 | |
| 产品别 |
|---|
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基板AOI
SX6000G
光罩专检机
能透射光、反射光的检测
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 对应产品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 对应线宽/线距 | 5um/5um ～ |
| 检测对象 | |
|---|---|
| 线路检测 | |
| 孔检测 | |
| 底材检测 | |
| 产品别 |
|---|
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