基板AOI
基板AOI
SX1000
體積小不佔空間
能對應單張、框架、拖盤類型的檢測
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | W890 x D1,610 x H1,600mm |
| 對應產品尺寸 | 300mm ｘ 400mm |
| 對應線寬/線距 | 15um/15um ～ |
| 檢測對像 | |
|---|---|
| 線路檢測 |  |
| 孔檢測 | |
| 底材檢測 | |
| 產品別 |
|---|
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基板AOI
SX3600/SX5600
對應線寬/線距=5/5μm高解析度機種
超高精度對應從線路到雷射孔的檢測
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 對應產品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 對應線寬/線距 | 5um/5um ～ |
| 檢測對像 | |
|---|---|
| 線路檢測 | |
| 孔檢測 | |
| 底材檢測 | |
| 產品別 |
|---|
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基板AOI
SX6000G
光罩專檢機
能透射光、反射光的檢測
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 對應產品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 對應線寬/線距 | 5um/5um ～ |
| 檢測對像 | |
|---|---|
| 線路檢測 | |
| 孔檢測 | |
| 底材檢測 | |
| 產品別 |
|---|
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