光罩
基板AOI
SX6000G
光罩專檢機
能透射光、反射光的檢測
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 對應產品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 對應線寬/線距 | 5um/5um ～ |
| 檢測對像 | |
|---|---|
| 線路檢測 |  |
| 孔檢測 | |
| 底材檢測 | |
| 產品別 |
|---|
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軟体找修系統
SV100
能對檢測結果跟NG小圖進行找修作業
遠端(辦公室/海外等)亦可進行找修作業
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | － |
| 對應產品尺寸 | － |
| 產品別 |
|---|
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數據分析系統
DM100
統計檢測結果的確認軟體
看統計畫面便可一眼確認結果
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | － |
| 對應產品尺寸 | － |
| 產品別 |
|---|
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自動分類缺陷系統
Pentagon
INSPEC獨自開發的缺陷篩選邏輯"iDSA"可大幅縮短找修時間
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 機台尺寸 | － |
| 捲產品寬度 | － |
| 產品別 |
|---|
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