軟體選購
軟体找修系統
SV100
能對檢測結果跟NG小圖進行找修作業
遠端(辦公室/海外等)亦可進行找修作業
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| 機台尺寸 | － |
| 對應產品尺寸 | － |
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數據分析系統
DM100
統計檢測結果的確認軟體
看統計畫面便可一眼確認結果
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| 機台尺寸 | － |
| 對應產品尺寸 | － |
| 產品別 |
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自動分類缺陷系統
Pentagon
INSPEC獨自開發的缺陷篩選邏輯"iDSA"可大幅縮短找修時間
| PRODUCT OUTLINE | |
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| 機台尺寸 | － |
| 捲產品寬度 | － |
| 產品別 |
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